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기자재명 | 수 량 | 용 도 | 설치장소 |
---|---|---|---|
4inch PECVD | 1 | 3D 그래핀 성장 | 연구소 |
10inch PECVD | 1 | 3D 그래핀 성장 | 연구소 |
Thermal CVD | 1 | 그래핀 Monolayer | 연구소 |
Wet etcher | 1 | 그래핀 박리 | 연구소 |
현미경 | 1 | 분석장비 | 연구소 |
Raman | 1 | 분석장비 | 연구소 |
OES | 1 | 분석장비 | 연구소 |
NIR | 1 | 분석장비 | 연구소 |
Laminator | 1 | 그래핀 Lamination | 연구소 |
Dry oven | 1 | 건조/열처리 | 연구소 |
IR Camera | 1 | 분석장비 | 연구소 |